真空爐的真空系統工作時，先啟動機械泵、維持泵和擴散泵，同時打開前級閥和維持泵閥，對擴散泵內進行抽真空。當真空度達到系統某一設定值時，羅茨泵啟動，同時旁路閥打開，前級閥關閉，此時對真空室進行抽低真空當擴散泵加熱至規定溫度并且真空度高于規定值時，高閥打開，旁路閥關閉，前級閥打開。此時對真空室抽高真空，達到工藝要求的真空度以后，方可進行熱處理工作。熱加工過程完成后，由熱交換器對真空室充入高純氮氣進行強制冷卻，完成整個工藝過程。
真空爐的電器故障分析：
真空爐溫度過高報警：
1.先檢查所在工作區溫控器參數是否正常，參考其他正常使用中的溫控器校對所有參數。
2.根據電路圖檢查相應工作區的固態繼電器輸出端是否被擊穿。可在停電后，用萬用表電阻檔測量固態繼電器輸出端兩點之間的電阻，正常時，電阻會有幾兆歐以上，如果被擊穿，則幾乎沒有電阻，必須按同型號換上新的。
3.在通電開機的情況下，用手輕搖相應工作區內的熱電偶探頭，看看所對應的溫控器顯示是否跳動幅度很大，如果有此現象，則說明熱電偶探頭接觸不良，需更換新的。
真空爐顯示溫度偏低：
1.先檢查所在工作區溫控器的參數是否正常，是否有輸出信號。
2.檢查所對應工作區的熱電偶是否受損，為了驗證這些熱電偶是否良好，可將它們跟正常溫控器上的熱電偶互換接到溫控器上，觀察溫度顯示情況。如果確實是熱電偶損壞，必須更換。
3.如果溫控器、熱電偶都沒問題，則需要測驗發熱管是否正常通電工作。可在通電開機后，啟動加熱，根據電路圖，直接用試電筆測試對應工作區的發熱管連接的導線，看是否有電到。如果有電到達，還需要用鉗表測量一下電流是否與其他工作區的差別，正常情況差異不大。
4.如果沒有電到達，則必須按電路圖對電路逐一檢查。
