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        雙管區熔爐  KQZ-20-11 提純爐

        雙管區熔爐 KQZ-20-11 提純爐

        所屬分類:區域熔煉爐

        產品型號:

        更新時間:2025-05-14

        描述:雙管區熔爐 KQZ-20-11 提純爐 設備用途:

        提純金屬、半導體、有機和無機的化學材料;

        區熔致勻(使一種欲摻入的雜質十分均勻地分布在整個單晶體中)

        焊接和測量液體中的擴散率等。

        詳細信息




        雙管區熔爐  KQZ-20-11 提純爐


        · 雙管區熔爐  KQZ-20-11 提純爐設備用途:

        1. 提純金屬、半導體、有機和無機的化學材料;

        2. 區熔致勻(使一種欲摻入的雜質十分均勻地分布在整個單晶體中)

        3. 焊接和測量液體中的擴散率等。


        二· 雙管區熔爐  KQZ-20-11 提純爐 優點:


         1·區熔加熱爐采用往復區熔的方式,閉環溫度控制,可靠的控制熔區的寬度問題;生長室的設計成功解     決生長室的污染問題,
         2·將加熱及保溫材料均設置在生長腔室外部,采用高純石英作為腔室,同時抽真空;將流動高純氫氣通     入腔室,去除腔室中的微量氧,解決氧化的問題;
         3·開發高柔性的控制軟件,采用觸摸屏進行操作,任意設置區熔的溫度,區熔的速度及次數。


        ·主要技術參數

        1. 最高加熱溫度:     1200℃ 使用溫度:500-1100℃

        2. 設備功率:          ≤35Kw±10%  三相380v 50Hz(三相五線制)

        3. 感應電源功率:     20Kw±10%  三相380v 50Hz(三相五線制)頻率≥400kHz。

        4. 紅外加熱功率:      2kw*2(暫定)

        5. 冷態極限真空度:   ≤5×10-4Pa

        6. 石墨舟尺寸:     Ф70*200mm(外徑*長度,半圓柱)

        7. 石英管(腔室)尺寸: ¢90*1500(根據實際情況做調整)

        8. 加熱方式:        高頻感應加熱

        9·區熔行程及速度:  位移行程 ≦1200mm
                           慢速:0.1-10mm/h(伺服控制)精度0.01mm
                       快速:200mm/min(伺服控制)(空走或者后退)
        10.爐內充氣壓力:    ≤0.03MPa(氬氣)
        11·充氣系統:      自動充放氣
        12.區熔溫區:       2溫區
        13.石英管法蘭連接方式:真空水冷密封法蘭形式,留KF25真空接口,法蘭材質304不銹鋼
        14.控制方式:觸摸屏+plc









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